中國機械工業(yè)集團所屬沈陽儀表院“高性能硅電容差壓傳感器”項目日前順利通過驗收。該項目是沈陽儀表院承擔的2007年度企業(yè)技術創(chuàng)新計劃項目。該項目開發(fā)了一種適用于智能工業(yè)變送器用硅電容差壓傳感器的設計和工藝技術，在硅電容核心結構設計、電容封裝工藝及傳感器封裝結構方面有創(chuàng)新，有效地解決了硅電容傳感器研制的工藝裝備難題。該項目完成后，將實現(xiàn)年產10萬只傳感器芯片，1.5萬臺傳感器的生產能力，年產值達1000萬元，產品可廣泛應用于航空、航天、石油化工、能源電力、冶金、機械、電子、環(huán)保等各個領域。  
　　
    　該項目是沈陽儀表院承擔的2007年度企業(yè)技術創(chuàng)新計劃項目。該項目開發(fā)了一種適用于智能工業(yè)變送器用硅電容差壓傳感器的設計和工藝技術，在硅電容核心結構設計、電容封裝工藝及傳感器封裝結構方面有創(chuàng)新，有效地解決了硅電容傳感器研制的工藝裝備難題。該項目完成后，將實現(xiàn)年產10萬只傳感器芯片，1.5萬臺傳感器的生產能力，年產值達1000萬元，產品可廣泛應用于航空、航天、石油化工、能源電力、冶金、機械、電子、環(huán)保等各個領域。