IC裝備產(chǎn)業(yè)作為高科技制高點和經(jīng)濟(jì)增長最佳點，是我國的先導(dǎo)性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，國家從“十五”計劃開始確定為重點發(fā)展產(chǎn)業(yè)。沈陽發(fā)展IC裝備產(chǎn)業(yè)面臨著重要機(jī)遇，今后發(fā)展的重點應(yīng)放在以機(jī)器人自動化設(shè)備、勻膠顯影設(shè)備、真空泵和真空閥等為代表的共性關(guān)鍵技術(shù)和設(shè)備方面。

    我國IC裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展與國外差距較大，幾乎完全依賴進(jìn)口，更為嚴(yán)重的是，國外對我國實施技術(shù)封鎖，對出口中國的關(guān)鍵設(shè)備和成套工藝設(shè)立了嚴(yán)格的許可限制和飛行檢查，從戰(zhàn)略上遏制我國IC裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此，加快發(fā)展具有自主知識產(chǎn)權(quán)的IC裝備產(chǎn)業(yè)，從根本上改變IC裝備制造業(yè)發(fā)展的落后局面，提升IC裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展水平，是我國發(fā)展IC產(chǎn)業(yè)的當(dāng)務(wù)之急。作為老工業(yè)基地的沈陽，大力發(fā)展IC裝備產(chǎn)業(yè)有利于國家實施東北振興的戰(zhàn)略，有利于承接IC裝備產(chǎn)業(yè)向中國的轉(zhuǎn)移，有利于提升產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、拉動區(qū)域經(jīng)濟(jì)。目前，世界IC及IC裝備產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移，國家在“十五”和“十一五”投入巨資支持，同時沈陽已具備發(fā)展IC裝備的基礎(chǔ)。

    沈陽發(fā)展IC裝備產(chǎn)業(yè)必須突出自己的優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)，做到有所為有所不為，避免與上海和北京直接競爭，細(xì)分產(chǎn)業(yè)和市場，做出自己的特色，形成差異化競爭優(yōu)勢；同時制定切實可行的發(fā)展策略，高起點、高投入，實現(xiàn)跨越式發(fā)展。另外，政府應(yīng)發(fā)揮重要作用，負(fù)責(zé)組織、協(xié)調(diào)、推進(jìn)，在產(chǎn)業(yè)政策和資金上擇優(yōu)支持，促進(jìn)快速發(fā)展。具體建議和措施如下：

    沈陽發(fā)展IC裝備的重點。IC裝備主要分為三大類：一類是以光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備及離子注入設(shè)備等為代表的主機(jī)設(shè)備，另一類是以機(jī)器人自動化設(shè)備、勻膠顯影設(shè)備、真空泵和真空閥等為代表的共性關(guān)鍵技術(shù)和設(shè)備，第三類則為各種測試和計量設(shè)備。第一類設(shè)備已經(jīng)完全被國外幾家公司壟斷，并且國家在“十五”期間已分別在上海和北京布局。第三類設(shè)備也已被國外公司壟斷，并且產(chǎn)業(yè)空間有限。只有第二類設(shè)備既是共性關(guān)鍵核心部件，又有很好的產(chǎn)業(yè)發(fā)展空間，沈陽的相關(guān)企業(yè)已具備了發(fā)展這類設(shè)備的基礎(chǔ)。因此，沈陽應(yīng)重點發(fā)展第二類產(chǎn)品，主要是：１．機(jī)器人自動化設(shè)備：真空機(jī)器人、潔凈機(jī)器人、SMIF系統(tǒng)、傳輸設(shè)備、預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。２．晶片處理系統(tǒng)：勻膠顯影機(jī)（Track機(jī)）、晶片清洗機(jī)等。３．成膜設(shè)備：CVD、PECVD、磁控濺射、電子束沉積、激光濺射、熱蒸發(fā)、MBE等。４．關(guān)鍵零部件，包括羅茨干泵、分子泵、低溫泵、真空閥門等。５．精密加工及公共服務(wù)平臺等。