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小型等離子清洗機 東莞市啟天自動化設備有限公司
       

小型等離子清洗機

產品型號: QT-36-PSP
產品價格: 價優(yōu)
產品品牌: 小型等離子清洗機
   
在線咨詢
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  聯 系 人: 林小姐
所在區(qū)域: 廣東.東莞
辦公地址: 東莞市樟木頭商旅之家辦公樓17層E11號
郵  編: 523618
電  話: 0769-87195860
移動電話:
傳  真: 0769-87796169
電子郵件: dgqt@cnqtkj.com
公司主頁: http://www.cnqtkj.com
 
詳細描述:
  .主要適用于實驗、科研、醫(yī)學及小規(guī)模的生產領域。
2.特點:成本低,整機機械、電氣結構簡單、實用,易維護。
             3.控制方式:手動或自動控制模式,利用各簡單元器件的巧妙
               組合成自動控制體系,各參數調整好后,一鍵完成整個清洗工藝。
             4.電源功率、清洗時間、氣體流量、凈化真空度等參數可設置。
             5.射頻電源手動匹配(自主研發(fā)的全固態(tài)晶體管輸出型)
             6.浮子精密氣體流量計、針閥等控制工藝氣體流量。
             7.清洗完成有提示音
             8.反射功率過大報警
             9.工藝氣體耗盡報警
             10.泵熱過載報警
             11.反應倉泄漏報警
             12.電極采用高通量等離子結構,牢固可靠易拆卸。
             13.反應倉為矩形不銹鋼腔體,水平電極板放置,間距可調。
             14.真空泵采用雙腔式旋片泵,極限真空度可達2Pa以下,一般采用外置。
             15.真空泵可選配液位低報警裝置
 
小型等離子清洗機主要技術數據及規(guī)格:
 
 標準型號
 
技術配置
 QT-12-PSP-
 QT-24-PSP
 QT-36-PSP
 
外形尺寸
 W700mm×H900mm×D600mm
 W700mm×H900mm×D600mm
 W700mm×H900mm×D650mm
 
反應倉
 W250mm×H200mm×D300mm
 W300mm×H250mm×D320mm
 W340mm×H305mm×D350mm
 
真空腔體材質
 不銹鋼加鋁內襯
 
電極板有效面積
 140mm×200mm×4
 240mm×220mm×5
 280mm×260mm×6
 
電源功率
 0~300W
 0~300W
 0~600W
 
電源頻率
 13.56MHz
 13.56MHz
 13.56MHz/40kHz
 
潔凈真空度
 15Pa
 15 Pa
 1 0Pa
 
控制系統
 半自動控制/全自動控制,繼電器加定時器控制體系
 
單次處理時間
 8-15分鐘
 
氣體控制
 2路精密氣體流量計+針閥+高拋光不銹鋼管路
 
流量精度
 +2sccm
 
工作壓強
 10-90Pa
 
真空泵系統
 德國/國產
 德國/國產
 德國/日本/國產
 
參數控制
 處理時間、射頻功率、氣體流量可調
 
所需環(huán)境配置
 
供電環(huán)境
 AC220V/50Hz8A + 獨立PE線
 
供氣管路
 0.2至0.6MPa,管徑φ6
 
環(huán)境
 最高35℃良好換氣通風
 
濕度
 30%~85%
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