| 詳細(xì)內(nèi)容： |
小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類(lèi)清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出，通過(guò)通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢(xún)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
貼壁式安裝，無(wú)直管段要求，易于安裝與使用
輸出方式靈活，既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機(jī)查詢(xún)輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C)，也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓
零點(diǎn)穩(wěn)定度高
全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
低功耗、低壓損
響應(yīng)速度快
機(jī)械尺寸：
技術(shù)參數(shù)：
HFS5001
量程范圍
0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶(hù)需求定制 sccm
量程比 100：1
精度 ±（1.5±0.2FS） %
重復(fù)性 ±0.75 %
零點(diǎn)輸出飄逸 ±30 mV
輸出飄逸 0.16 %/oc
響應(yīng)時(shí)間 100（默認(rèn)，50，100，200，500，100設(shè)置） ms
工作電源 8~18Vdc,50mA
輸出方式 RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc
最大流量壓損 900 Pa
最大流量壓力 0.8 MPa
工作溫度 -5~+45 oC
存儲(chǔ)溫度 -20~+55 oC
工作濕度 95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)
機(jī)械接口 M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉(zhuǎn)接模塊）
校準(zhǔn)方式 空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa
重量 17.5 g |
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